2011 год
Пермский Государственный Национальный Исследовательский Университет
Строительство чистого лабораторного помещения (Микроэлектроника).
Место строительства: г. Пермь;
Технологическое назначение: Лаборатория для создания чипов со сложной структурой микро каналов в полимере. Проведение процессов фотолитографии: изготовление (печать, проявка) фотошаблонов, нанесение фоторезистов, экспонирование фоторезистов, проявка фоторезистов, задубливания фоторезистов; плазменной обработки (холодная плазма) с целью очистки, активации поверхности полимера (PDSM); процессов полимеризации гомополимеров;
Общая площадь помещений: около 70 м2;
Класс чистоты помещений: ИСО 6, ИСО 7, ИСО 8.
Строительство чистого лабораторного помещения (Микроэлектроника).